Для подложек размером до 50 х 50 мм
Компактная конструкция
Самое экономичное решение
Короткий срок поставки
Быстрая и простая установка
Минимальные затраты и модернизация при установке в существующий перчаточный бокс

Применение:
- Металлизация, контактные слои
- Органические и неорганические соединения
- Микроскопия
- Полупроводники

Интеграция в перчаточный бокс
Компактное и эффективное решение
Модульная конфигурация по вашим требованиям
Различные типы источников (термо, электронно лучевое, магнетронное напыление)
Возможность со-напыление
Однородность до + / -3 % (при определенной геометрии конструкции до + / 1 %)
Возможно разместить до 8 источников в зависимости от конфигурации камеры напыления
Размер подложки до 150х150 мм или диам. 150 мм (6”) в зависимости от конфигурации камеры напыления

Автономная система
Компактное и эффективное решение
Модульная конфигурация по вашим требованиям
Возможность со-напыления
Однородность до + / -3 % (при определенной геометрии конструкции до + / 1 %)
Два стандартных размера: UNIvap 4S и UNIvap 5S
Возможно разместить до 8 источников в зависимости от конфигурации камеры напыления
Размер подложки до 100х100 мм или диам. 100 мм (4”) для UNIvap 4S
Размер подложки до 150х150 мм или диам. 150 мм (6”) для UNIvap 5S

Модульная система
Два типа исполнения:
- Автономный
- Встроенный в перчаточный бокс
Использование нескольких подложек и маск в одном процессе
Стандартная однородность: + / - 3 % (при определенной геометрии конструкции до + / 1 %)
Размер подложки до 150х150 мм или диам. 150 мм (6“) для OPTIvap 4
Размер подложки до 200х200 мм или диам. 280 мм (8“) для OPTIvap 6

Применение:
Сложные многослойные устройства (OLED, OPV)
Оптические слои
Полупроводники

Мини-камера напыления на 100% применимая для перовскитов


Может быть интегрирован в существующие перчаточные боксы (через большую переходную камеру)
Компактная конструкция
Для подложек размером до 50х50 мм
До 4 источников
Однородность слоя < + / -5 %
Экономическое решение
Короткий срок поставки
Легкая модернизация существующих перчаточных ящиков

Специально разработанная система напыления для перовскитов (Perovskites)

Идеальный инструмент для эффективных исследований и разработок
Специальная конструкция системы
Специальный источник для прекурсоров
Высокая стабильность при низкой температуре
Стабильный и определенный процесс осаждения
Условия высокого вакуума
Низкий уровень перекрестного напыления
Высокая повторяемость
Совместимость материалов для очень длительного срока службы
Запатентованная технология